概述：该设备用于晶圆片扩散、蒸发、镀膜前的表面清理。清洗顺序纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗，酸洗、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性安全达到进口同类设备水平，价格、售后服务、备品备件的供给是进口设备无法比拟的

 主要特点：采用进口PP板

        适用与2-6寸硅片清洗

        超声功率强，性能稳定

清洗介质

采用超声波清洗，一般有两种清洗剂：化学清洗剂和水基清洗剂。清洗介质是化学作用，而超声波清洗是物理作用，两种作用相结合，以对物体进行充分、彻底的清洗。

功率密度

超声波的功率密度越高，空化效果越强，速度越快，清洗效果越好。但对于精密的、表面光洁度甚高的物体，采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。

频率

超声波频率越低，在液体中产生空化越容易，作用也越强。频率高则超声波方向性强，适合于精细的物体清洗。

一般来说，超声波在30℃~40℃时空化效果最好。清洗剂则温度越高，作用越显著。

通常实际应用超声波清洗时，采用40℃~50℃的工作温度。